一、主要技術(shù)指標(biāo)
1.被測(cè)件長(zhǎng)度：150mm
2.工作臺(tái)行程：5 mm
3.測(cè)桿移動(dòng)范圍：0.5mm
4.分劃板刻度范圍：±50格
5.直接測(cè)量范圍：5-20μm
6.分度值調(diào)整范圍：0.05-0.2 μx
7.推薦使用分度值：0.1 μm
8.測(cè)量壓力：(1.5±0.1) N
9.儀器示值穩(wěn)定性：0.02 μm
10.儀器誤差：數(shù)字顯示
11.測(cè)量誤差：
n 是格數(shù), i是格值,λ是濾光片中心波長(zhǎng)，△λ是濾光片波長(zhǎng)誤差
12.儀器體積：280*500*700 mm
13.儀器重量：40 kg

二、標(biāo)準(zhǔn)配件
1.五筋園臺(tái)
2.九筋瑪瑙臺(tái)
3.可調(diào)園平臺(tái)
4.輔助臺(tái)
5.平面測(cè)帽
6.小球面測(cè)帽
7.干涉濾光片